前瞻技術(shù)：

固態(tài)激光雷達

1.基本原理

分為：外部光源、OPA 光子相位陣列列、分路器、光波導、移相器、光發(fā)射天線(xiàn)陣列

其測距原理均不使用FOT時(shí)間飛行法，采用相干法

2.關(guān)鍵技術(shù)

光路調相機制：PIN調相 ，切換速度快；熱光子器件調相，切換速度慢，成熟

硅基光子器件：硅基光敏器件（接收，成熟），硅基激光發(fā)射器件（發(fā)射，不成熟）

光天線(xiàn)：普遍采用波導光柵

光路制備工藝：普遍采用SOI工藝

3.光路調相

光路調相有兩種技術(shù)：熱光子環(huán)和PIN二級管，本質(zhì)上都是增加光路時(shí)延。

PIN 調相(CALTECH)

熱光子開(kāi)關(guān)（MIT）

4.器件

光器件是基于SiGe工藝，接收管可以和SOI工藝兼容。激光管不行。器件看這篇：

專(zhuān)欄作家斛律哥：摩爾定律的黃昏，自動(dòng)駕駛的黎明：站在時(shí)代肩膀上的光電半導體zhuanlan.zhihu.com硅鍺工藝制備的光敏二極管（UCSB），用于接收進(jìn)行波導到光柵的轉換利用衍射效應，通過(guò)光柵將光子發(fā)射出去

硅基芯片上普遍使用的是Focusing gating coupler（聚焦光柵耦合器），發(fā)射天線(xiàn)

5.工藝

典型的光柵制作工藝：

1.紫外光刻

2.感應耦合等離子體蝕刻

3.光柵體蝕刻深度70nm深

4. 使用Si3N4制作光波導

5.使用SiGe工藝制作光敏二極管，用于接收